近日，全球最大的工业气体公司——林德宣布，其已经启动了一套新的空分装置，向上海华力微电子有限公司（HLMC）的12英寸晶圆生产线供应氮气、高纯度氧气和氩气。
林德表示，公司还将向HLMC供应氢气和氦气。
新空分装置包括现场制氮机和压缩干燥空气（CDA）系统。
紧凑、高效的氮气发生器由林德公司专门设计，可以满足电子和半导体客户对更高纯度工业气体产品不断增长的需求。
林德大中华区负责人Will Li表示：“最近中国的电子工业在技术、创新和生产能力方面取得了显著进步，可靠的高质量气体供应对我们的客户成功至关重要。与此同时，我们的客户渴望确保他们的运营尽可能具有可持续性和能源效率，并正在寻求能够帮助他们应对这一挑战的解决方案。”
“我们为成为像HLMC这样的领先半导体公司值得信赖的合作伙伴而感到自豪，我们期待着在未来继续扩大在中国的网络密度的同时扩大我们的合作关系。”
“该工厂的启动标志着我们与林德（Linde）跨越多年成功合作的又一个里程碑。”
HLMC公司总裁雷海波补充道：“林德的可靠供应，安全的运营和技术创新使我们充满信心。 我们期待在项目的未来阶段加强与林德的合作。”
